“時鐘和振蕩器是所有電子系統(tǒng)的心跳”，正如Silicon Labs公司副總裁Dave Bresemann所說的，振蕩器可謂電子系統(tǒng)正常運行的根本。一直以為石英晶振是任何物體都無法取代的頻率元件，俗不知，SiTime、Discera及Epson Toyocom等大型晶振廠商都制造出了一種可以取代石英晶振的MEMS振蕩器。MEMS振蕩器是指通過微機電系統(tǒng)系統(tǒng)制作出的一種可編程的硅振蕩器，屬于我們通常所說的有源晶振。它是對傳統(tǒng)石英晶體諧振器產(chǎn)品的一個升級更新?lián)Q代，防震效果是前者的25倍，具有不受振動影響、不易碎的特點。MEMS振蕩器的溫度穩(wěn)定性也比傳統(tǒng)晶振更好，不受環(huán)境溫度高低變化的影響。SiTime和Discera制造硅材料的MEMS振蕩器，而Epson Toyocom的MEMS振蕩器是采用被該公司稱為“QMEMS”的工藝制造的石英MEMS振蕩器。除SiTime、Discera和Silicon Clocks幾家美國公司外，歐洲的恩智浦半導體、意法半導體等大企業(yè)都在投資MEMS振蕩器的開發(fā)。另外，芬蘭技術(shù)研究中心VTT、MEMS公司VTI及精工愛普生（Seiko Epson）等也在開發(fā)MEMS振蕩器。與以往石英晶振的不同的是，相比小尺寸貼片晶振，MEMS振蕩器的性價比更高。泰河電子負責人劉工解釋說：“因為對于貼片晶振來說，價格隨著體積變動，體積越小，價格越貴；而對MEMS振蕩器，體積越小，占用的硅片越小，越便宜”。

   傳統(tǒng)的石英振蕩器是由壓電石英加上簡單的起振芯片和金屬封裝組成的，依賴機械式諧振器進行振蕩，因此極易受到撞擊和震動的影響，此外，還必須進行密封組裝，以防止晶體受到污染，但這會影響器件的性能。其生產(chǎn)工藝包括：石英切割鍍銀、購買基座、起振芯片，以及將石英及芯片以特殊黏膠結(jié)合后至于基座上，然后充填氮氣，用金屬封裝進行密封。而不同頻率、不同工作電壓振蕩器的產(chǎn)生，則是由石英的不同形狀、鍍銀厚度及所佩的起振芯片所決定。所以，從生產(chǎn)工藝角度，石英產(chǎn)業(yè)是一個人工密集型的半自動化傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)，其產(chǎn)品也受到傳統(tǒng)原材料和工藝的限制。與傳統(tǒng)石英相比，全硅MEMS振蕩器不管從生產(chǎn)工藝還是組件設計結(jié)構(gòu)上，都更符合現(xiàn)代電子產(chǎn)品的標準，也是對傳統(tǒng)石英產(chǎn)品的升級換代。且全硅振蕩器沒有移動元器件，因此不易受到撞擊及震動的影響，和不會受到污染，采用塑料封裝無須密封，使得啟動及工作更為可靠頻率穩(wěn)定性，特別是在不同溫度下的穩(wěn)定性，是電子工程師在選擇振蕩器時考慮的主要參數(shù)之一。因為每一個設計，都需要保證系統(tǒng)在整個工作溫度范圍內(nèi)正常運作。而溫飄(頻率隨溫度而顯著變化的現(xiàn)象)則是傳統(tǒng)石英晶振的弱點，難以單純從制造上克服。MEMS既能作為可與CMOS集成的單芯片，又可在一個晶圓上構(gòu)造多個諧振器成為SoC計時方案。這將帶來更少的鎖相環(huán)、更好的抖動性能以及更低的功耗和成本。